一种能与SEM联合应用的STM

【作者】 商广义； 贺节； 姚骏恩； 吴杏芳； 杨楠；

【机构】 中科院北京电子显微镜实验室； 北京科技大学金属物理系；

【摘要】 <正>扫描隧道显微镜(STM)是一种具有原子分辨率并能在真空,大气等不同环境下工作的新型表面分析仪器。在物理、化学、材料及生命科学领域的研究中得到了广泛的应用。近几年,在把 STM 与其它表面分析仪器联用方面也取得了可喜进展。SEM 是一种技术成熟应用广泛的表面分析仪器。因此,将 STM 与 SEM 联合应用具有明显优势,可归纳为以下几方面：第一,SEM 具有现成的高真空系统,STM 可分享这一系统从而更多还原