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离子镀不锈钢膜的微观组织特征
【机构】 大连海事大学；
【摘要】 <正>离子镀不诱钢膜因能有效地提高工件表面的抗蚀性能而日益受到人们的重视。全面了解整个膜层的微观组织结构及相分布对研究膜层生长、相变及完善和改进工艺有重要的意义。对于膜层的微观组织研究一般多采用平面膜。这种观察方法有很大的局限性,不能对沉积过程中膜层内的组织结构、相分布有全面完整的观察。本文采用透射电镜进行横截面观察。以期了解从基体到膜层生长全貌及相组成,讨论了形成原因。
- 【会议录名称】 第八次全国电子显微学会议论文摘要集（Ⅱ）
- 【会议名称】第八次全国电子显微学会议
- 【会议时间】1994-10
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TG174.444
- 【主办单位】中国电子显微镜学会