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两种SACP电子光学光路的比较
【作者】 廖乾初；
【机构】 冶金部钢铁研究总院；
【摘要】 <正>在扫描电镜中,为了获得选区电子通道花样,通常是采用所谓单偏转摇摆的聚焦电子束扫描光路。根据我们实验室条件,上述的电子束扫描方式有两种光路可以选择：(1)会聚电子束的摇摆扫描方式；(2)平行电子束的摇摆扫描方式。如果这两种光路都是把下扫描线圈断开,而仅采用上扫描线圈去控制电子束的单偏转,则根据这两种光路的不同特点,可以推导得如下关系：
- 【会议录名称】 第八次全国电子显微学会议论文摘要集（Ⅱ）
- 【会议名称】第八次全国电子显微学会议
- 【会议时间】1994-10
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】TH742
- 【主办单位】中国电子显微镜学会