S—570扫描电子显微镜维修数例

【作者】 张良平； 付建华； 李勇波；

【机构】 湖南师范大学；

【摘要】 <正> 本文以实例介绍S—570扫描电镜数例故障现象及排除的方法。[例一]一、故障现象:电镜在工作过程中,突然高压掉下,高压关闭,真空指示回转,真空绿色指示灯熄灭。二、检测:1.真空系统F₃熔断;2.冷测EVAC电源板,Q₆ec击穿,Q₁Q₂ec短路,焊下Q₁Q₂测量未坏,复位,发现散热板与be脚短路,因散热板有方位性,其中一散热板方位反了,窄空位朝be脚,使之碰触短路,这种反位是原机装板时所误;3.通电检查。A₃灯亮,但24V垮到8V左右,DP未工作,A₃电磁阀烧坏。三、故障排除:1.将散热板方位校正。Q₁Q₂短路排除;2.自制A₃线圈换上,工作恢复正常。更多还原