JSM-840扫描电镜真空系统故障分析及检测

【作者】 刘明林； 贾向群； 李续忠；

【机构】 沈阳工业大学中心实验室；

【摘要】 <正> JSM-840扫描电镜的真空系统是由三个“皮拉尼计”来检测的。PG1与样品室相连。PG2与电子光路系统相连。PG3与扩散泵DP和储气室相连。“皮拉尼计”与各种电子线路、断电器、控制阀等配合构成一整套自动保护系统。扩散泵工作不正常或在此处有泄漏,则PG3故障灯亮报警,严重时停机。系统其它部位真空不良,由于PG1、PG2的控制也会自动停机。故障停机主要有以下几种情况。(1)初抽三十分钟V6阀不能关闭。(2)开机二十分钟扩散泵未能加热。(3)断水。(4)DP和储气室之间真空低下,用μA表测量量PG3的检测端子高于120μA,PG3故障指示灯亮15分钟后停机。(5)压缩氮气供压不足。更多还原