利用I(M)/I(L)改进薄膜定量分析的电离截面

【作者】 刘渝珍； 唐涛； 张庶元； 吴自勤；

【机构】 中国科技大学结构分析实验室；

【摘要】 <正> 1975年以来在分析电镜中广泛使用比例因子（Cliff-Lorimer因子）法进行薄试样X射线能谱定量分析,但迄今为止实验测定的K—K系比例因子仅二十几个,K—L系比例因子仅10个。70年代末以来利用X射线物理公式,计算了比例因子,在商品仪器上发展了无标样定量分析。但所使用的K—L或L—M系的误差常达20—50%。我们认为这样大的误差来源于电离截面Q。为进一步通过实验I（M）/I（L）比值确定对于M—L合适的Q公式。我们在分析透射电子显微镜镜上用EDAX9100测量纯元素H₀和纯稀土元素Yb、Er、Dy、Gd、Sm等的实验I（M）/I （L）强度比位。本文测重的实验值是在入射电压75、100、150、175、200kV下,样品倾角为0°,X射线出射角为68°进行测量的。为提高信噪比,除了采更多还原