SmCo非晶垂直磁化膜的TEM研究

【作者】 戴道文； 沈能方； 李佐宜；

【机构】 华中理工大学；

【摘要】 <正> 由轻稀土Sm和3d过渡族金属Co组成的SmCo非晶垂直磁化膜具有独特的磁、磁光和磁电性能,是制作高密度存贮器件和薄膜传感器的一种很有前途的材料。本文用透射电子显微镜（TEM）研究了用双源共蒸发法制备的SmCo非晶磁化膜的显微结构特征及其与成份、温度的依赖关系。讨论了非晶态SmCo磁化膜的形成过程及其结构对磁光特性的影响。实验结果表明:1.SmCo非晶磁化膜的典型结构是由直径约30A的高密度柱状区和一个低密度的网络组成的,如图1所示,图中右上角的电子衍射插图表明该结构是典型的非晶态。2.Sm_xCo_100-x（15<x≤40）磁化膜具有非晶态结构。Sm₁₅Co₈₅是非晶态和微晶态的混合结构,如更多还原