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用高级次光谱提高多层膜分辨率方法的研究
【机构】 同济大学精密光学工程技术研究所；
【摘要】 多层膜是X射线波段重要的光学元件,具有高反射率和良好的稳定性,已经在多个领域得到了广泛应用。但若用在飞秒激光的高次谐波选频和低原子序数材料的荧光探测等方面,必须提高它的分辨率。本文采用高级次光谱的方法来提高多层膜的分辨率。理论设计出波长为14nm Mo／Si多层膜,用磁控溅射方法制备了Mo／Si多层膜,用同步辐射进行反射率的测量。其结果表明,第二级次的分辨率得到了提高。
【基金】 国家自然科学基金资助项目(批准号60378021)
- 【会议录名称】 上海市激光学会2005年学术年会论文集
- 【会议名称】上海市激光学会2005年学术年会
- 【会议时间】2005-09
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】O484.43
- 【主办单位】上海市激光学会