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直流磁控溅射高Tc超导红外探测器电极膜
【作者】 黄江平；
【机构】 昆明物理研究所；
【摘要】 <正>一．引言在红外技术的研究中,高温超导红外探测器的研制,是红外探测科学发展的一个新方向,它有雄厚的技术基础和广阔的应用前景,以其独特的光彩吸引着全球科学家的目光。而超导红外探测器的研制,关键技术之一是电极膜的制备。因为目前高温超导红外探测器的研制已从单元走向多元、并向集成化的方向发展,对于形成器件接触和互连的金属化方
- 【会议录名称】 ’99十一省（市）光学学术会议论文集
- 【会议名称】’99十一省（市）光学学术会议
- 【会议时间】1999-11
- 【会议地点】中国海南海口
- 【分类号】O434.3
- 【主办单位】上海市红外与遥感学会、上海市硅酸盐学会、上海市激光学会、广东光学学会、广西光学学会、云南光学学会、四川光学学会、陕西光学学会、重庆市光学学会、贵州光学学会、湖北光学学会、湖南光学学会、福建光学学会