节点文献
椭偏光谱的发展与应用
【作者】 莫党；
【机构】 中山大学物理系；
【摘要】 <正>椭偏光谱术是一种以椭圆偏振光测量为基础的光谱技术。由于计算机技术的进步(椭偏光谱术的数据处理一般需要使用计算机),椭偏光谱术近年来有了较大发展,其应用范围逐步扩大到物理、化学、材料科学、微电子技术、薄膜技术、电化学、生物学、医学等。椭偏光谱术的特点：一是有原子层的灵敏度,适宜于研究表面与界面；二是它能同时测得复数光学常数的实部和虚部,提供更多的信息以便分析被测对象。现在它已能测量和分析多层膜、纵向不均匀分布样品、多组元材料等许多复杂体系。此外,椭偏光谱仪器也有较大发展,在波长范围上也有进展,已扩展到红外及远红外、真空紫外波段。
- 【会议录名称】 ’99十一省（市）光学学术会议论文集
- 【会议名称】’99十一省（市）光学学术会议
- 【会议时间】1999-11
- 【会议地点】中国海南海口
- 【分类号】O433
- 【主办单位】上海市红外与遥感学会、上海市硅酸盐学会、上海市激光学会、广东光学学会、广西光学学会、云南光学学会、四川光学学会、陕西光学学会、重庆市光学学会、贵州光学学会、湖北光学学会、湖南光学学会、福建光学学会