金属钌电镀

【作者】 嵇永康； 木名濑隆； 卫中领； 周延伶；

【机构】 苏州华杰电子有限公司； 日鉱メタルプレ-ティング(株)高槻技术ヤンタ-； 中国科学院上海微系统与信息技术研究所金属腐蚀与防护技术中心； ィビデン株式会社；

【摘要】 分别介绍了金属钌的物理特性和亚硝基氯化钌镀钌、钌酸钾镀钌、硫酸钾镀白色钌和黑色钌的工艺规范,氨基磺酸镀白色钌和氨基磺酸镀黑色钌的工艺规范及各种应用实例;指出了氨基磺酸的加入对镀液的稳定性及镀层性能的提高所起的作用。比较了钌、铑和钯镀层的性能,并介绍了钉镀层性能的测试方法。说明了钌镀层的工业用途。更多还原