传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作

【作者】 王跃林； 王渭源； 李昕欣； 焦继伟； 陆德仁； 熊斌； 罗乐； 吴亚明； 李铁； 杨建义；

【机构】 传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所；

【摘要】 <正> 1 引言进入上世纪八十年代,随着微电子技术的飞速发展,使得起着人“大脑”作用的计算机功能越来越强,而起着人“五官”作用的传感器却没有大的进展,形成了聪明的“大脑”指挥笨拙的“五官”局面,传感器的矛盾显得越来越突出,因此,传感器的研究受到了极大的重视。也就是在1981年正式举办了第一届国际传感器和执行器会议(Transducers’81),带来了传感器研究的热潮。当时,我国对传感器的研究也较为重视,从八十年代初开始有关部委立了传更多还原