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Sol-Gel技术制备PST铁电薄膜及其电性能研究
【机构】 华中科技大学电子科学与技术系；
【摘要】 <正> 近年来,薄膜材料及薄膜器件已成为科学工作者研究的热点,PbSc0.5Ta0.5O3(简称为PST)铁电薄膜材料与常用热释电材料相比,具有很高的热释电系数、适当的介电常数和低的介电损耗,其热释电探测优值可以提高数倍以上,是制备铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列(UFPA)的优选材料。
- 【会议录名称】 科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集
- 【会议名称】中国科协第五届青年学术年会
- 【会议时间】2004
- 【分类号】TB383
- 【主办单位】中国土木工程学会