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纳米电子器件及其集成技术
【作者】 刘明； 王丛舜； 谢常青； 龙世兵； 李志钢； 张立辉； 易里成荣；
【机构】 中国科学院微电子研究所；
【摘要】 <正> 目前国际上主要采用从“自上而下”和“自下而上”两个方向开展纳米电子及其器件和集成
【基金】 国家自然基金资助项目,支持号60276019,90207004,60236010,60290081。
- 【会议录名称】 科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集
- 【会议名称】中国科协第五届青年学术年会
- 【会议时间】2004
- 【分类号】TN02
- 【主办单位】中国土木工程学会