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PZT压电硅微传声器的设计与制备
Design and Fabrication of Silicon based PZT piezoelectric micro-microphone
【Author】 Li Junhong Xu Lian Wang Chenghao (Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080)
【机构】 中国科学院声学研究所；
【摘要】 <正>1引言在声学微电子机械系统中,硅微传声器有着重要地位,也具有使用前景。目前,硅微传声器主要有两种结构,即硅微电容式传声器和硅微压电式传声器,相对于硅微电容式传声器而言,硅微压电传声器具有的优点是工艺相对简单,不需要极化电压,没有较难控制的气隙。但其灵敏度比硅微电容式传声器要低, 相关的研究也不如硅微电容传声器深入。
【基金】 国家自然科学基金项目(90207003),(90607003)资助。
- 【会议录名称】 中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集
- 【会议名称】中国声学学会2006年全国声学学术会议
- 【会议时间】2006-10
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN641
- 【主办单位】中国声学学会