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硅微压电薄膜传声器的制备
Fabrication of silicon based piezoelectric film microphone
【作者】 杨楚威； 黄歆； 解述； 魏建辉； 徐明； 汪承灏；
【Author】 YANG Chu-wei, HUANG Xin, Xffi Shu, WEI Jian-hui, XU Ming, WANG Cheng-hao (Institute of Acoustics, Chinese Academy of Science, Beijing 100080, China)
【机构】 中国科学院声学研究所；
【摘要】 <正> 1 引言近几年来,随着硅技术的不断发展,硅基微机电系统(MEMS)在许多领域成为科学研究的热点[1][2]。利用硅基微加工工艺加工制作的MEMS器件不仅体积小、重量轻,而且具有与集成电路工艺兼容的特点,使之与传统器件相比具有更明显的优势和发展潜力。作为硅微传声器中的重要一
- 【会议录名称】 中国声学学会2002年全国声学学术会议论文集
- 【会议名称】中国声学学会2002年全国声学学术会议
- 【会议时间】2002-09
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TN641
- 【主办单位】中国声学学会