【作者】 张其海； 张谦琳； 吕述望； 梁苏军； 张送根；

【Author】 ZHANG Qi-hai , ZHANG Qian-lin , LU Shu-wang , LIANG Su-jun , ZHANG Song-gen (Graduate School of University of Science & Technology of China Beijing 100039; SISE. The Graduate School of the Chinese Academy of Sciences Beijing 100039;Beijing P.O.Box 7227 sub 4 Beijing 100072; Institute of Electronics.Chinese Academy of Sciences.Beijing 100080,China)

【机构】 信息安全国家重点实验室中国科技大学研究生院(北京)； 中国科学院研究生院信息科学与工程学院； 中国科学院电子学研究所；

【摘要】 <正> 1 引言随着电子技术的不断发展,集成电路等各类微电子器件的应用越来越广泛,新的生产、制造技术和工艺不断涌现。为确保器件性能的稳定性、可靠性,在生产过程中进行有效的质量监控,或在失效的情况下进行诊断分析,就显得十分重要。声显微成像技术是一种新兴的检测技术,它更多还原