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基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究
【作者】 邹丽芸； 张院春； 彭良强； 黄军容； 伊福廷； 张菊芳； 韩勇；
【机构】 北京市机电院高技术股份有限公司； 中国科学院高能物理研究所；
【摘要】 结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔洞。并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度。
- 【会议录名称】 第十届全国特种加工学术会议论文集
- 【会议名称】第十届全国特种加工学术会议
- 【会议时间】2003-10
- 【会议地点】中国北京
- 【分类号】TG661
- 【主办单位】中国机械工程学会特种加工分会