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微细电化学直写加工技术的研究
【机构】 清华大学精密仪器与机械学系；
【摘要】 围绕微细电化学加工技术的探索以及在微型机械／MEMS中的应用,构建了基于微细电化学加工用电源、微进给机构、状态检测模块和计算机的微细电化学直写加工系统, 初步实验研究了微小探针和微小孔的制作工艺,以及分别采用材料去除和淀积的直写加工技术。
- 【会议录名称】 2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集
- 【会议名称】2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会
- 【会议时间】2001-11
- 【会议地点】中国江苏苏州
- 【分类号】TG662
- 【主办单位】中国机械工程学会特种加工分会