电子束诱导金属硅化物的研究——扫描电子束对材料改性研究之一

【作者】 林世昌； 张燕生； 张国炳； 王阳元； 陈坚； 赵勇；

【机构】 中国科学院电子学研究所； 北京大学计算机系； 北京大学技术物理系；

【摘要】 本文讨论了Nb—Si,Ta—Si以及ey Co—Si体系的扫描电子束瞬态诱导技术。在广泛试验的基础上对样品进行了表面电阻测量、X射线衍射分析和卢瑟福背散射分析。表明扫描电子束对诱导形成硅化物具有显著的优点,形成机制是“扩散控制”型。更多还原