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TiO2薄膜氧传感器的制备与性能测试
【机构】 黑龙江大学集成电路重点实验室；
【摘要】 阐述了TiO2薄膜氧传感器的发展概况,分析了它的氧敏机理,并介绍了它的制备工艺。最后,对制成的TiO2薄膜氧传感器进行实验得出的结果和理论分析得出的结果进行比较,进一步给出TiO2薄膜氧传感器的特性。
- 【会议录名称】 中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集
- 【会议名称】中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
- 【会议时间】2004-07
- 【会议地点】中国哈尔滨
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国电子元件行业协会敏感元器件与传感器分会、东北微机电系统（MEMS）研发联合体、黑龙江大学、中国电子科技集团公司第四十九研究所