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SnO2半导体气敏元件的制备及对CO的检测
【机构】 大连理工大学电子与信息工程学院； 信息产业部第四十九研究所；
【摘要】 在气体传感器的制造过程中,可以通过制备和选择气敏材料及掺杂剂、表面修饰等技术使气敏元件的性能有了明显的改善,通过掺杂金属或者金属氧化物作为催化剂而获得的传感器可以获得对某种气体的快速反应,使得传感器对气体具有可选性,简要说明了SnO2粉末的制备,论述了掺Pd,Au以及Cu的SnO2气敏元件的制造及对CO的初步检测结果。
【基金】 国家自然科学基金项目(59995550-5)S863国家资助项目(2003AA404180)
- 【会议录名称】 中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集
- 【会议名称】中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会
- 【会议时间】2004-07
- 【会议地点】中国哈尔滨
- 【分类号】TP212
- 【主办单位】中国电子元件行业协会敏感元器件与传感器分会、东北微机电系统（MEMS）研发联合体、黑龙江大学、中国电子科技集团公司第四十九研究所