【作者】 孙广毅； 赵新； 卢桂章；

【Author】 Sun Guangyi, Zhao Xin, Lu Guizhang Inst. of Robotics and Information Automatic System, Tianjin 300071

【机构】 南开大学机器人与信息自动化研究所；

【摘要】 本文提出了基于技能知识和过程虚拟的虚拟MEMS制造系统的概念,具体以光学光刻工艺为切人点详细分析了虚拟光刻环境原形系统及关键技术;通过微加速度计加工中对准偏差模拟的例子进一步说明了该系统的可行性。更多还原

【Abstract】 This paper puts forward the concept of Virtual MEMS Manufacturing System based on skill knowledge and process simulation. Concretely, using optical lithography as the breakthrough, this paper details a virtual lithography prototyping system and key problems. In addition, the alignment simulation example of fabricating micro-acceleration indicates the feasibility of system.更多还原