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国产溅射离子泵主要性能测试及现状
【机构】 科学技术大学国家同步辐射实验室； 国家上海同步辐射中心(筹)；
【摘要】 使用同一套测试装置在相同的条件下,按照国家机械行业标准JB/T2965-92要求,对国内几个主要溅射离子泵生产厂家生产的溅射离子泵进行性能测试,列出主要测试结果,使大家了解国产溅射离子泵的现状,并以期加深国内真空泵厂对改进溅射离子泵必要性的认识。
- 【会议录名称】 第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集
- 【会议名称】第四届华东真空科技学术交流展示会
- 【会议时间】2003-11
- 【会议地点】中国江西鹰潭
- 【分类号】TB752
- 【主办单位】安徽省真空学会