PZT压电薄膜的制备

【作者】 余厉阳； 王德苗； 董树荣； 金浩；

【机构】 浙江大学信息工程学院；

【摘要】 压电薄膜由于其独特的功能,被广泛的用于各种领域。本文在薄膜制备和成分测试的基础上,探索了利用磁控溅射的方法制备PZT(Pb(Zr0.47Ti0.53)O3)压电薄膜的可能性。更多还原

【Abstract】 With the special properties, the piezoelectric thin can be applied in many domains. In this paper, the probability that using the magnetic sputter the PZT piezoelectric thin is fabricated has been discussed on the base of the preparation of thin and ingredient testing.更多还原