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会聚测量原理

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【作者】 李晓华杨晓伟陈福朝王琦龙贾利涛

【机构】 东南大学电子工程系

【摘要】 <正>概述: 会聚测量方法和设备很多,运用场合也不尽相同。为了适合不同的需要,设计、运用的原理和方法不同。作为研发阶段或产品控制和检测的设备的要求是完全不同的。作为研发阶段要求测量设备精确和通用性强,测量速度和设备体积要求不高。而作为生产线控制或产品检测的设备的要求测量速度快和设备体积小。本文在系统分析会聚测量方法的基础上,着重对我们开发的一套新型的会聚测量设备进行了介绍。

  • 【会议录名称】 江苏省真空学会第十届学术交流会论文集
  • 【会议名称】江苏省真空学会第十届学术交流会
  • 【会议时间】2002-06
  • 【会议地点】中国南京
  • 【分类号】TN386.5
  • 【主办单位】江苏省真空学会
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