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离子束薄膜合成及其应用
【机构】 中国科学院离子束开放研究实验室；
【摘要】 本文报道中国科学院离子束开放研究实验室在离子束薄膜合成研究和应用方面的发展和现状。着重介绍离子束辅助沉积薄膜合成、真空磁过滤弧源沉积薄膜生长,以及离子注入SOI材料合成的方法及其物理过程。同时对离子束合成薄膜在工业及国防上的应用也进行了探讨。
- 【会议录名称】 华东三省一市第三届真空学术交流会论文集
- 【会议名称】华东三省一市第三届真空学术交流会
- 【会议时间】2000-06
- 【会议地点】中国江苏金坛
- 【分类号】TB43
- 【主办单位】江苏省真空学会、安徽省真空学会、浙江省真空学会、上海市真空学会