【作者】 王之江； 万树德； 闻一之； 陈银华； 王成； 潘阁生； 孙玄； 龙珍毅；

【Author】 Wang Zhijiang , Wan Shude, Wen Yizhi, Chen Yihua, Wang Cheng, Pan Gesheng, Sun Xuan, Long Zhenyi(Department of Modern Physics, University of Science and Technology of China.230027, Hefei, China)

【机构】 中国科学技术大学近代物理系；

【摘要】 <正> 对不同形式气体放电性质的深入认识,加速了等离子体科学与技术的发展。例如在低温等离子体应用方面,随着对新型材料以及表面处理技术的需求不断提高,对等离子体技术发展提出了新的挑战。等离子体被认为是一种可产生各种活性粒子的活化源,要使等离子体加工,处理,成膜或植入达到最佳效果,要为生产过程直接提供具有一定能量和浓度的活性粒子,必须通过调整等离子体参数,以及改变等离子体放电方式来实现。因此,建造一台等离子体放电参数大范围可调,放电方式可变的装置,产生不同性质的等离子体,对研究放电等离子体基本性质和低温等离子体技术是十分有意义的。作为多用途的等离子体源,它也可用于各种等离子体实验和教学演示等。更多还原