【作者】 高飞； 袁孝； 程光华； 赵卫；

【Author】 GAO Fei~1 YUAN Xiao~1 CHENG Guang-hua~2 ZHAO Wei~2 1 State Keg Laboratory of Laser Technology,Huazhong University of Science and Technology,Wuhan,Hubei 430074,China 2 State Keg Laboratory of Transient Optics and Photonics,Xi’an Institute of Optics and Precision Mechanics,The Chinese Academy of Sciences,Xi’an,Shaanxi 710058.China

【机构】 华中科技大学激光技术国家重点实验室； 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室；

【摘要】 采用波长800 nm,脉冲宽度150 fs,脉冲重复率1 kHz 的飞秒激光,研究了在不同物质以及不同加工条件下的微加工特性,在镀金薄膜和镀银薄膜上获得了近衍射极限的刻线加工尺度,在半导体 GaAs 材料上制备了直径 3μm 的4×4点阵。在加工速度为400 μm/s 的条件下,在 ZK6玻璃和 LaF₂玻璃上制备了透射式衍射光栅,光栅常数分别为2．5μm 和5μm。更多还原

【Abstract】 The 800 nm,150 fs,1 kHz femtosecond laser micromachining for different materials under different processing conditions is studied.The diffraction-limited cutting on the gold and silver films is obtained,respectively,A4×4 array holes with the diameter of 3 μm are drilled in the GaAs materials.The transmission gratings with the grating constant of 2.5 μm and 5 izm are fabricated into the ZK6 and LaF₂,glasses at the machining speed of 400 μm/s.更多还原