【作者】 黄祖鑫； 蒋晓东； 任寰； 吕海兵； 张磊； 何钱军； 彭勇； 胡晓阳；

【Author】 HUANG Zu-xin~1 JIANG Xiao-dong~2 REN Huan~2 LU Hai-bing~2 ZHANG Lei~2 HE Qian-jun~2 PENG Yong~1 HU Xiao-yang~1 1 Institute of Applied Electronics, 2 Resecarch Center of Laser Fusion,China Academy of Engineering Physics,Mianyang,Sichuan 621900,China

【机构】 中国工程物理研究院应用电子学研究所； 中国工程物理研究院激光聚变研究中心；

【摘要】 从单层 ZrO₂薄膜和单层 SiO₂薄膜的两种主要损伤形貌出发,分析产生这两种损伤形貌的原因,说明了这两种膜料的单层溶胶—凝胶化学膜损伤机理,即单层 ZrO₂薄膜的损伤主要由热冲击造成,而单层 SiO₂薄膜的损伤主要由热吸收造成。还提出了提高这两种膜料的溶胶—凝胶化学膜激光损伤阈值的方法。更多还原

【Abstract】 According to the damage appearances of single layer of ZrO₂ and SiO₂ thin films.the causing was analyzed.The damage mechanisms of two kinds of materials on sol-gel thin films can be made out that heat shocking leads to the damage of ZrO₂ thin film and heat absorption is mostly the damage cause of SiO₂ thin films.The method was taken out to improve the damage threshold of two kinds of materials.更多还原