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半导体紫外探测器及其研究进展

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【作者】 徐自强李燕谢娟陈航王恩信邓宏

【机构】 电子科技大学微电子与固体电子学院

【摘要】 本文介绍了不同类型的半导体紫外光敏探测器的结构和性能,回顾了其发展历史,并且综述了以各类型半导体为基的紫外光敏探测器的研究新进展。

【关键词】 紫外探测器金刚石SiCGaNZnO
  • 【会议录名称】 四川省电子学会传感技术第九届学术年会论文集
  • 【会议名称】四川省电子学会传感技术第九届学术年会
  • 【会议时间】2005-10
  • 【会议地点】中国江苏周庄
  • 【分类号】TN23
  • 【主办单位】四川电子学会传感技术专业委员会、中国工程物理研究院总体工程研究所
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