自支撑薄膜的剥离技术

【作者】 樊启文； 许国基； 杜英辉； 张榕；

【机构】 中国原子能科学研究院；

【摘要】 <正>所谓自支撑薄膜是相对于有支撑薄膜而言,是指在使用过程中无载体支撑的薄膜,厚度范围覆盖几十纳米到几十微米。在大量的科学研究中,尤其是在低能核物理、激光核物理、原子与分子物理、天体核物理和原子核化学实验中都需要自支撑薄膜作为靶膜、剥离膜、x 射线反射镜或 x 射线过滤器等。因此, 能否成功制备自支撑薄膜不仅制约着激光和核物理科学研究的发展,而且限制了原子与分子物理和原子核化学研究的开展。更多还原