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化学法制备多台阶结构的工艺研究

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【作者】 刘春泽周斌徐翔杜艾叶君建沈军

【机构】 同济大学物理系

【摘要】 <正>随着强激光,光通讯领域的发展,具有高质量,复杂微结构的光学元件成为关键器件之一。传统的微加工技术需要复杂昂贵的加工设备,制作成本较高, 限制了元件的应用范围。与传统工艺相比,采用溶胶-凝胶法制备微光学元件, 具有制作工艺简单,成本低,折射率可调,激光损伤阈值高的特点。ZrO2具有高折射率,相对适中的介电常数,较好的热稳定性能,在高功率激光薄膜的设计与制备中有广泛的应用。

  • 【会议录名称】 第九届中国核靶技术学术交流会摘要集
  • 【会议名称】第九届中国核靶技术学术交流会
  • 【会议时间】2007-09
  • 【会议地点】中国广西北海
  • 【分类号】TL341
  • 【主办单位】中国核物理学会
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