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石英和有机衬底上飞秒激光微加工引入微结构的工艺研究
【作者】 周斌； 孙骐； 徐翔； 徐超； 沈军； 吴广明； 唐伟星； 倪星元； 贾天卿；
【机构】 同济大学波耳固体物理研究所； 中科院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 <正> 采用超短脉冲飞秒激光微加工工艺在石英和有机衬底上制备条状和孔状微结构,研究了激光微加工的的基本过程和激光与材料相互作用的过程,获得烧蚀深度、形貌等微结构参数与激光工作条件的关系;进一步探索了以飞秒激光微加
- 【会议录名称】 第八届全国核靶技术学术交流会论文摘要集
- 【会议名称】第八届全国核靶技术学术交流会
- 【会议时间】2004-09
- 【会议地点】中国丹东
- 【分类号】TG665
- 【主办单位】中国核学会核靶材分会