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微波等离子体辅助多离子束反应共溅射装置
【机构】 四川大学原子核科学技术研究所；
【摘要】 由于多组元氧化物薄膜,如铁电陶瓷膜,超导陶瓷膜有着重要的应用前景,国内外都开展了大量的研究。为了制备高质量的多组元氧化物薄膜,我们利用微波等离子体辅助沉积和离子束溅射的优点,建成了国内外唯一的一台微波等离子体辅助多离子束反应共溅射装置。
- 【会议录名称】 第九届全国核物理大会论文摘要汇编
- 【会议名称】第九届全国核物理大会
- 【会议时间】1994-10
- 【会议地点】中国重庆
- 【分类号】O539
- 【主办单位】中国核物理学会