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离子溅射与靶点表面形貌的关联
【作者】 王震遐；
【机构】 中国科学院上海原子核研究所；
【摘要】 <正>离子轰击引起表面形貌变化对溅射原子发射的影响,是近年来研究的新发展。这方面研究不仅对溅射产额,溅射原子角分布以及择优溅射等机理探索有重要意义,同时对材料改性研究领域也是一种很有价值的开拓。现将我们在这方面的研究结果概括如下：
- 【会议录名称】 第八届全国核物理会议文摘集（下册）
- 【会议名称】第八届全国核物理会议
- 【会议时间】1991-12
- 【会议地点】中国陕西西安
- 【分类号】O572
- 【主办单位】中国核物理学会