微米级ZnO薄膜厚度的散射测量与数字计算

【作者】 温良弼； 黄艳文； 谢必正； 陈素清； 陈剑瑄； 李尚柏； 王能明； 张大忠；

【机构】 四川大学原子核科学技术研究所；

【摘要】 <正>ZnO 薄膜具有优良的压电性能,是一种很有前途的声电材料。在声表面波器件中,用 ZnO 薄膜制成的电视中频滤波器,国外已经投入实用。滤波器的主要性能直接与 ZnO 膜的厚度有关。要获得高的机电耦合系数, ZnO 膜的厚度必须选在0．03λ或0．5λ(λ——声表面波波长)。更多还原