【作者】 郑英彬； 许献国； 高杨；

【Author】 ZhengYingBin XuXianGuo GaoYang (Institute of Electronic Engineering,China Academy of Engineering Physics,MianYang 621900

【机构】 中国工程物理研究院电子工程研究所；

【摘要】 电离辐射在微加速度计的绝缘层中产生俘获电荷,该俘获电荷在微加速度计敏感单元中产生了一个附加静电力,研究用ANSYS软件计算这个附加静电力的原理和方法。计算了不同俘获电荷面密度时的附加静电力以及绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响。更多还原

【Abstract】 There are dielectric charging after micro-accelerometer irradiation,electric charge produces an electrostatic force,principle and approach of calculate it are investigated.The electrostatic force with varying charge is calculated,and the affect on electostatic force is analyzed because of the distance between dielectric and sensor.更多还原