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XYH-86小面积X荧光涂层测厚仪的数据获取和处理

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【作者】 林金锌朱节清顾连学乐安全

【机构】 中国科学院上海原子核研究所

【摘要】 本文主要介绍了用X荧光技术对小面积涂层厚度进行测量的数据获取与处理方法。仪器用小型X射线管产生的射线作为激发源;数据获取和处理由微机多道分析器来完成。它能测量的最小面积的直径是 0-1mm,能对单涂层、复合双涂层和合金涂层进行测量。

  • 【会议录名称】 第五次全国核电子学与核探测器学术会议论文集(下)
  • 【会议名称】第五次全国核电子学与核探测器学术会议
  • 【会议时间】1990-08
  • 【会议地点】中国甘肃兰州
  • 【分类号】TH821.1
  • 【主办单位】中国电子学会核电子学与核探测技术分会
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