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同步辐射3B1束线光监测系统
【作者】 刘丽冰; 唐鄂生; 凌如昭; 吴坚武; 黄英; 陈京涛;
【机构】 中国科学院高能物理所; 北京工业大学;
【摘要】 <正>一、引言同步幅射光具有高亮度,平行性好,发射度小,光谱连续可调等显著特点, 是目前x射线亚微米光刻最理想的光源。北京正负电子对撞机3B1束线正是为探索X射线亚微米光刻的实验条件和工艺手段而建造的一条专用束线。
- 【会议录名称】 第五次全国核电子学与核探测器学术会议论文集(下)
- 【会议名称】第五次全国核电子学与核探测器学术会议
- 【会议时间】1990-08
- 【会议地点】中国甘肃兰州
- 【分类号】TL81
- 【主办单位】中国电子学会核电子学与核探测技术分会