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外延ZnO压电薄膜的声表面波特性分析
【机构】 湖北大学物理学与电子技术学院；
【摘要】 采用RF平面磁控溅射技术在单晶Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜。研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在Al2O3衬底上沉积的ZnO薄膜是高度C轴取向的。电阻率测试结果表明:在纯氧中高温退火,薄膜的电阻率提高到107Ω·cm量级。对于ZnO Al2O3结构的SAW器件,随着ZnO薄膜厚度的减小,其机电耦合系数降低,但声表面波速率增加。
- 【会议录名称】 湖北省物理学会、武汉物理学会成立70周年庆典暨2002年学术年会论文集
- 【会议名称】湖北省物理学会、武汉物理学会成立70周年庆典暨2002年学术年会
- 【会议时间】2002-10
- 【会议地点】中国武汉
- 【分类号】O484.4
- 【主办单位】湖北省物理学会、武汉物理学会