【作者】 胡莉； 李茜；

【Author】 HU Li, LI Qian (Southwest University of Science and Technology, Mianyang 621000)

【机构】 西南科技大学信控学院；

【摘要】 本文论述了微机械系统(MEMS)的发展,介绍了电容式微加速度计和压阻式微加速度计的结构,分析了它们的工作原理,以及制作工艺。更多还原

【Abstract】 This paper discussed the developments of Micro Electro - Mechanical System. It gave some introduction about micro - accelerometer imposed with capacitance and that in use of piezoresistivity, analyzed it’ s working theory , and the basic facture arts and crafts in the end.更多还原