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铁电超晶格薄膜

Ferroelectric super lattice

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【作者】 郝兰众李燕刘云杰邓宏

【Author】 HAD Lan-zhong, LI Yan, LIU Yun-jie, DENG Hong (University of Electronic Science and Technology, School of Micro-Electron and Solid Electron, Chengdu 610054, China)

【机构】 电子科技大学微电子与固体电子学院

【摘要】 介质铁电超晶格薄膜是一类新型的薄膜材料,已逐渐开始受到重视,成为研究的热点.本文主要分析了铁电超晶格薄膜的结构特点、组分材料、介电铁电性能;介绍了其在实际中的应用以及在近几年的发展;概括了几种常用的介质铁电超晶格薄膜的生长技术及其影响因素:最后对铁电超晶格薄膜的发展和应用前景进行了展望。

【Abstract】 The necessarily to study ferroelectric superlattice was introduced first in this paper. Then the feature of its structure, materials, ferroelectric and dielectic properties, and its application are analyzed briefly. Finally the prospects of ferroelectric superlattice were presented.

【基金】 国家重点基础研究发展计划(973)
  • 【会议录名称】 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ
  • 【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】2004-09
  • 【会议地点】中国北京·秦皇岛
  • 【分类号】TB383
  • 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部
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