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用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导

Charge stability and surface conductance of electret layer applied in Si-based miniature sonic transducer

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【Author】 WU Xian-yong, FU Xiao-ming, XIA Zhong-fu, AN Zhen-lian,ZHANG Peng-feng, WANG Li, LI Jim(1. Pohl Institute of Solid state Physics Tongji University, Shanghai 200092, China; 2. Shenzhen Horn Electroacoustic Technology Co., Ltd, Shenzhen 518109, China)

【机构】同济大学波尔固体物理研究所；深圳豪恩电声科技有限公司；

【摘要】通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察,讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用.借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比,研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响.更多还原

【Abstract】 In this paper, the inhibit effect of the surface modification to the lateral diffusion of the charge in Si3N4/SiO2 composite electret films is investigated by measurements of the surface conductivity and charge lateral diffusion in the film before and after chemical surface modification. Compared with the bulk Si3N4/SiO2 composite electret film before planar technology, the effect of the microminiaturization on the charge stability of this kind of electret film is also studied.更多还原

【关键词】微型化；氮氧化硅驻极体；表面电导；电荷稳定性；
【Key words】 microminiaturization； Si₃N₄/SiO₂ electret； surface conductance； charge stability；

【基金】国家自然科学基金资助项目(5007—3016);国大众汽车基金会资助的中德合作课题项目(Ref.Ⅰ/77365)

【会议录名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ

【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议

【会议时间】2004-09
【会议地点】中国北京·秦皇岛
【分类号】TB34

【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部

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