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永磁流变抛光中磁流变液的性能研究
Researching on the features of magnetorheological finishing fluid for polishing high precision optics
【Author】 CHENG Hao-bo, WANG Ying-wei, FENG Zi-jing (Dept. of Precision Instruments and Mechanology, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
【机构】 清华大学精密仪器与机械学系；
【摘要】 利用永磁流变抛光技术制造超光滑光学元件是一项极具前景的超精密制造技术。本文在明确磁流变抛光机理的基础上,主要对一种新颖的油基磁流变抛光液进行了配制,并对其主要性能如流变性、稳定性进行了试验研究,所获得的油基磁流变液的初始粘度达到0.5 Pa·s,流变性具有较大范围内的稳定性。对油基磁流变液抛光性能的试验研究证明其具有良好的抛光特性,抛光23min后工件表面粗糙度降低到0.6739nm。
【Abstract】 Magnetorheological finishing (MRF) for manufacturing super-smooth optical aspheric is a promising issue in the field of super-precision fabricating technology. Based on clearly describing to the mechanism of MRF, a novel MR fluid compound with silicon oil was putted up in the paper, and the main features such as rheology and stability also been analyzed experimentally. The initial viscosity achieved to 0.5Pas, and rheology could keep stability during relatively wide temperature range. Finally, the practicability of the MR fluid was verified in the home made facility for polishing a parabolic mirror, the roughness of the experimenting piece has decreased to 0.6739nm Ra after polishing for 23min.
- 【会议录名称】 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ
- 【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】2004-09
- 【会议地点】中国北京·秦皇岛
- 【分类号】TB381
- 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部