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大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用
Preparation, fabrication and application of Large area optical grade freestanding diamond films
【作者】 吕反修； 唐伟忠； 李成明； 陈广超； 佟玉梅； 宋建华；
【Author】 LU Fan-xiu, TANG Wei-zhong, LI Cheng-ming, CHEN Guang-chao, TONG Yi-mei, SONG Jian-hua (University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083, China)
【机构】 北京科技大学材料学院；
【摘要】 大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一.在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景.本文综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展.给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射(DC Arc Plasma Jet)CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果,并报导了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学(机械)、热学、微波介电性能和抗激光损伤等方面的最新研究结果.
【Abstract】 The preparation and fabrication of large area optical grade freestanding diamond films is one of the most important technical progresses in the field of R&D of CVD diamond films achieved in recent years. The present paper summarizes the recent progress made in the University of Science and Technology Beijing. Progress on the preparation and polishing of large area optical quality freestanding diamond films by high power DC Arc Plasma Jet CVD method is described. New results on the optical, thermal, mechanical, dielectric properties, the high temperature oidation, and laser induced damage threshold of the optical grade freestanding diamond films are reported.
【Key words】 optical grade diamond films； preparation and fabrication； optical property； thermal property； mechanical property； dielectric properties； laser；
- 【会议录名称】 第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ
- 【会议名称】第五届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】2004-09
- 【会议地点】中国北京·秦皇岛
- 【分类号】TB34
- 【主办单位】国家仪表功能材料工程技术研究中心、国家“863”计划新材料领域专家委员会、中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会、中国稀土学会、中国复合材料学会、中国有色金属学会、重庆仪表材料研究所、北京有色金属研究总院、包头稀土研究院、钢铁研究总院、北京工业大学、燕山大学、山东大学、云南大学、上海交通大学、华中科技大学、天津大学、四川大学、湖南大学、大连理工大学、南京大学、清华大学、西南师范大学、北京科技大学、北京大学、厦门大学、中南大学、电子科技大学、重庆大学、福州大学、吉林大学、哈尔滨工业大学、武汉大学、西安理工大学、北京交通大学、西北工业大学、苏州大学、东北大学、复旦大学、武汉理工大学、浙江大学、北京理工大学、北京航空航天大学、中国科技大学、西南交通大学、南开大学、《功能材料与器件学报》编辑部、《功能材料》编辑部