【作者】 莫建良； 刘峰； 沈鸽； 张溪文； 赵高凌； 翁文剑； 杜丕一； 韩高荣；

【Author】 MO Jian-liang;LIU Fen;SHEN Ge;ZHANG Xi-wen;ZHAO Gao-ling;WENG Wen-jian;DU Pi-yi;HAN Gao-rong State key Laboratory of Silicon Material Science, Zhejiang University, Hangzhou, 310027, China

【机构】 浙江大学硅材料国家重点实验室；

【摘要】 本文通过原子力显微镜(AFM)分析,反射率、透射率测试以及薄膜厚度的测试,研究了APCVD 法硅镀膜玻璃硅薄膜的表面形貌(颗粒数量、大小和分布)对镀膜玻璃反射率、透射率的影响。研究发现不同的制备工艺(沉积温度和基板走速)对薄膜的平均反射率和平均透过率有很大的影响,通过控制合适的工艺参数可以制得具有纳米颗粒镶嵌结构的复合薄膜。此薄膜能有效增加表面的散射漫反射,降低由镜面反射造成的光污染。更多还原

【Abstract】 In this paper, the effects of the surface morphology of silicon-coating glasses(the quantity size anddistribution of grains) by APCVD on its reflectivity and transparence through the measurements of reflectivity,transparence and thick of film and Atomic Force Microscopy(AFM) analysis. It has been found that there are greatinfluences on reflectivity and transparence of coating glasses with different deposition technics(differences ofdeposition temperature and substrate velocity). Nano-grain composite film, which increases surface scattering anddiffuse reflection and decreases the light pollution from mirror reflection effectively, can be prepared thoughcontrolling deposition parameters appropriately.更多还原