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聚合物亚微米敏感膜成膜技术研究
Study on Preparing Technology of Polymer Sub—micrometre Sensitive-Film
【Author】 Jiang Yadong Wu Zhiming Wang Shaohong Yang Daben (Dept.Mater.Sci.Eng.,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu,610054,China)
【机构】 电子科技大学材料科学与工程系；
【摘要】 本文对有机聚合物亚微米薄膜的三种成膜技术:电解聚合法、低压化学气相沉积法和离心流延法进行了研究。研究了不同聚合物材料、成膜工艺及工艺参数对薄膜厚度的影响,成功地制备出亚微米(0.1μm)聚合物敏感膜。最后对亚微米聚吡咯膜和聚酰亚胺膜的敏感特性进行了测试研究。
【Abstract】 Three methods of preparing organic polymer thin films:electrosynthesis method,low pressure chemical vapor deposition method,centrifugation method were discussed in this paper.Pyrrole was used in the first and the second methods,and PI was used in the third method.The sub-micrometre(0.1μm grade)polymer thin films were prepared out by these methods.At last we tested and studied the sensibility of polypyrrole film and PI film.
【Key words】 polymer； sub-micrometre thin film； preparing film technology； electrosynthesis； low pressure chemical vapor deposition；
- 【会议录名称】 第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】第二届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1995-10-23
- 【会议地点】中国四川成都
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会薄膜专业委员会、机械工业部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部、大连理工大学、中国科技大学、北京科技大学、吉林大学、东北大学、中国科学院上海冶金研究所、中国科学院半导体研究所、北京大学、清华大学、南京大学、华中理工大学、武汉工业大学、电子科技大学、四川联合大学、西北工业大学、北京工业大学、东南大学、青岛化工学院、北京航空航天大学、山东工业大学