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SOI中砷注入退火研究
【机构】 中科院上海冶金所离子束开放实验室；
【摘要】 本文研究了离子注入As在SIMOX材料中的扩散行为。通过对各种剂量(1014-- 1016As+cm2)与不同退火条件样品的测量与模拟,证实了SIMOX中间氧化层对As杂质扩散起到极好的阻挡作用。1×1016/cm2As+注入退火后载流子峰值浓度接近1×1020/cm3。结果表明,快速热退火性能优于常规退火,杂质激活率更高。
- 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
- 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
- 【会议时间】1992-10-26
- 【会议地点】中国广西桂林
- 【分类号】TB302
- 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部