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用RF溅射法在不同基片上制备Pt薄膜

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【作者】 朱建国肖定全朱居木钱正洪张文

【机构】 四川大学材料科学系

【摘要】 <正>1引言不同的材料间外延关系在理论上、实践上均有重要的意义。在适当基片上生长的具有特定取向的金属薄膜在金属超晶格、微电子学和光电子器件等方面有着广泛的应用。

  • 【会议录名称】 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集
  • 【会议名称】首届中国功能材料及其应用学术会议
  • 【会议时间】1992-10-26
  • 【会议地点】中国广西桂林
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会(CMRS)、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部
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